この度、Micro-Epsilon社より、白色光干渉センサが販売されました。
本製品は、サブナノメートルの分解能で安定した測定結果をもたらし、堅固なセンサ、DINレールに固定出来るアルミニウム製ハウジングのコントローラで構成されております。コントローラには、能動温度制御機能が搭載されているため、
周囲温度の変化で補正され、比類ない温度安定性が得られます。
また、真空環境及びクリーンルーム内で使用も可能であり、ナノメートルレベルの分解能を提供致します。光点の直径はわずか10μmなため、半導体や小型電子機器部品の構造といった小さな細部も検知致します。
詳しい仕様等は下記リンクよりご確認下さい。
https://www.sankyointernational.co.jp/products/sensor/displacement_snsr/interfero_meter
