白色光干渉計

interfero_meter

白色光干渉センサとは、分岐させたLEDライトが干渉することによって発生する干渉縞をコントローラに内蔵されている分光計によって距離・変位として出力される変位センサです。サブナノメートルの分解能で絶対距離の測定を行うことが出来ます。