共焦点式変位センサ (共焦点式変位計)

confocal_displacement_meter

共焦点式変位センサ（変位計）とは、マルチレンズを通した白色光が測定ターゲットの表面に正確に焦点があった波長の光（単色光）のみがピンホールを通過し、スペクトルメータにて検出し距離・変位として出力される変位センサです。高精度の変位計で、ガラスの厚みも計測可能です。そのため、製造ライン上での製品の最終品質確認等に使用可能です。また、真空中で使用できるセンサもあるため、半導体装置のステージの位置決め等にも使用されています。