MEMS (加速度センサ)

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MEMS加速度計 (加速度センサ) は半導体微細加工技術を応用したセンサです。センサ素子可動部と固定部の間の容量変化（静電容量式）に応じて出力し、重力等の静的加速度も測定可能です。様々な出力形式、レンジが選択可能で、温度特性に優れています。また、コストパフォーマンスに優れ、搬送機やポンプ等の振動監視等に幅広く採用されています。