MEMS (傾斜センサ)

mems

MEMS傾斜計は半導体微細加工技術を応用したセンサです。傾きによるセンサ素子可動部と固定部の間の容量変化（静電容量式）を検出し出力します。様々な出力形式、レンジ、検知方向が選択可能で、温度特性に優れています。また、コストパフォーマンスに優れ、昇降機等の設備傾斜監視、高精度版は自動車試験や精密ステージの位置決めに採用されております。