静電容量式変位センサ (静電容量式変位計)

capacitance_displacement_meter

静電容量式センサ(変位計)は、静電容量、つまりプレート型コンデンサーの動作に基づき、2つのプレートの電極は、センサとターゲットとなり一定の交流電流が流れると、交流電圧の振幅がプレート電極間の距離に比例して出力されます。
非常に分解能と精度が高く、ナノレベルで分解能が必要な場合でも計測可能です。また、真空中でも使用可能です。

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