静電容量式変位センサ (静電容量式変位計)
静電容量式フィルム厚み測定 TFG6220
Micro-Epsilon
製品概要
静電容量式の厚さ測定システムです。 バッテリーフィルムなどの導電性フィルムの厚みを最高精度で測定します。
センサ
変位センサ（変位計）
静電容量式変位センサ (静電容量式変位計)
製品特徴
内蔵の真空装置で測定対象物を吸い込み、滑らかにし、しわのない最適な位置を測定することにより、10nmの分解能を実現します。
仕様
- 供給電圧
- 12～35VDC (通常24VDC)
- レンジ
- <1mm
- 分解能
- 10nm(100Hz時)
- 精度
- 0.2μm ※ただし、測定対象物による
- 温度
- 18～25℃
- 測定体
- 導電性のあるフィルム（伝導率 >10*6 S/m)