変位センサ（変位計）

渦電流式センサ（変位計）は、センサ内部のコイルに高周波電流を流し、高周波の磁界を発生させます。磁界内に計測対象（磁性体・非磁性体）があると
渦電流を発生させ、渦電流の大きさが変位として出力されます。アンプからの出力は0-10V、4-20mAなど任意に設定が出来ます。
一般的には、研究開発、プロセス制御、半導体製造装置など、様々なアプリケーションで使用され、水や埃などの悪環境でも使用できます。

静電容量式センサ（変位計）は、静電容量、つまりプレート型コンデンサーの動作に基づき、2つのプレートの電極は、センサとターゲットとなり一定の交流電流が流れると、交流電圧の振幅がプレート電極間の距離に比例して出力されます。
非常に分解能と精度が高く、ナノレベルで分解能が必要な場合でも計測可能です。また、真空中でも使用可能です。

レーザー変位センサ（変位計）は三角法を使用した非接触の変位計です。全ての製品レーザークラス2と安全面でも考慮されています。さらにレーザーのため、応答性が早く最大で10kHzで計測可能です。出力もアナログだけでなく、デジタル出力も可能のため、製造工程ラインでも容易に取付、使用可能。
また、応用製品として、レーザーを点ではなく線にしたスキャナーシステムもあり、形状確認には最適な計測器です。

共焦点式変位センサ（変位計）とは、マルチレンズを通した白色光が測定ターゲットの表面に正確に焦点があった波長の光（単色光）のみがピンホールを通過し、スペクトルメータにて検出し距離・変位として出力される変位センサです。高精度の変位計で、ガラスの厚みも計測可能です。そのため、製造ライン上での製品の最終品質確認等に使用可能です。また、真空中で使用できるセンサもあるため、半導体装置のステージの位置決め等にも使用されています。

白色光干渉センサとは、分岐させたLEDライトが干渉することによって発生する干渉縞をコントローラに内蔵されている分光計によって距離・変位として出力される変位センサです。サブナノメートルの分解能で絶対距離の測定を行うことが出来ます。

光ファイバー式変位センサ（変位計）は、センサ先端から光を放射し、光の反射率で変位や振動を計測します。非接触での計測なため、前後左右・回転体・真空下での計測が出来ます。高分解能・高応答で小型のセンサプローブ（カスタム可）もあり、ご希望の計測が実現出来ます。
他にも、極低温下や水中などでも計測が出来ます。

センサ本体と機械的に連結された物体の直線運動に対応して電気信号を出力する電気機械トランスデューサの一種です。内部構造は1 対の二次巻線と、それらが対称になるように中央に置かれた一次巻線で構成されています。一次巻線は適切な振幅と周波数の交流電流によって通電されます。計測物体と結合されたコアがコイル内で移動すると2つの二次巻線間の差動AC電圧が変化します。そのAC電圧の変化を電気回路により高レベルのDC電圧または電流に変換します。アクチュエータの制御やバルブの位置検知などに使用されます。

ワイヤー式変位センサ（変位計）はワイヤーが動いた分だけ出力する接触式変位計です。出力は、ポテンショメータ、アナログ出力（電圧/電流）に加え、モデルによってはデジタル出力も可能です。リフトや医療用ベッドの上下移動の制御や、医療ではX線検査用の位置決めにも使用されています。
保護等級が高いモデルでは、クレーン車のアウトトリガ装置の位置決めにに採用されています。

誘電エラストマー（EAP）をセンサ素子とした変位計です。素材が伸びることにより静電容量が変化しそれを変位に換算します。
IP68相当の防塵防水構造で耐UVコーティングがされているので屋外で使用可能です。
センサ自体が柔軟で変位軸外に張力がかかっても故障しません。振動のあるところや過酷な環境で使用可能で、今までにない変位センサです。
同じ原理を用いたストレッチセンサやストレインゲージもあります。

金属タービン及びセラミックなどの非金属タービンブレードに対応できます。
金属用は最高温度200℃以上。
静電容量式は110KHz応答。センサーヘッドはM5で小型です。

タービン、発電機、ポンプなどの振動や軸変位を計測する非接触回転機用変位センサ (変位計)をご用意しております。
高温下や爆発性危険区域での使用も可能とし、高い信頼性で長期間の機械保護・監視を可能とします。

変位測定システムSGS 4701（Spindle Growth System）は、高回転スピンドルでの使用を目的に開発されました。
変位測定システムSGS 4701（Spindle Growth System）は、高回転スピンドルでの使用を目的に開発されました。フライスにおいて工具を定められた位置に保ち続けられるようにスピンドルの熱膨張をSCGセンサが検知します。