白色光干渉計
IMS5600-DS [真空環境で使用可能]
![白色光干渉計<br>IMS5600-DS [真空環境で使用可能]](/dcms_media/image/interfero56_gaiyo.jpg)
Micro-Epsilon
製品概要
真空環境下及びクリーンルーム内で計測の出来る白色光干渉計です。
センサ
変位センサ（変位計）
白色光干渉計
製品特徴
ナノメートル精度の絶対距離測定
30ピコメートルの高分解能
真空環境に適したセンサ及びケーブル
30ピコメートルの高分解能
真空環境に適したセンサ及びケーブル
仕様
- レンジ
- 0～2.1mm（距離）、0.010～1.3mm(厚み、BK7の場合)
- 出力
- アナログ : 4-20 mA、0-10 V デジタル : RS422/EtherCAT/Ethernet
- 分解能
- ＜30 pm
- 精度
- < ±10 nm
- 応答性
- 100 Hz～6 kHz
- 温度
- 5～70 ℃
- 測定体
- ガラス、反射面、拡散表面など
メーカー紹介
Micro-Epsilon社はドイツに拠点があり、提供している工業用途の高精度変位センサ、赤外線式温度センサー、カラーセンサおよび寸法測定機器やシステムの種類は世界最大です。
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