白色光干渉計
IMS5400-TH [正確な厚み測定用]
![白色光干渉計<br>IMS5400-TH [正確な厚み測定用]](/dcms_media/image/interfero54th_gaiyo.jpg)
Micro-Epsilon
製品概要
サブマイクロメートル精度で安定した厚み測定を行うための白色光干渉計です。
センサ
変位センサ（変位計）
白色光干渉計
製品特徴
距離変動や振動している計測対象のナノメートル精度の厚み測定
反射防止コーティングされたガラスも安定して計測可能
Webインターフェイスを介した容易な設定
反射防止コーティングされたガラスも安定して計測可能
Webインターフェイスを介した容易な設定
仕様
- レンジ
- 0.035～1.4mm ※ただし、センサから45mm±3.5mmまたは70mm±2.1mmの範囲にターゲットがあること
- 出力
- アナログ : 4-20 mA、0-10 V
デジタル : RS422/EtherCAT/Ethernet
- 分解能
- ＜1nm
- 精度
- 応答性
- 100 Hz～6 kHz
- 温度
- 5～70 ℃
- 測定体
- 薄い層、ガラス、フィルムなど
メーカー紹介
Micro-Epsilon社はドイツに拠点があり、提供している工業用途の高精度変位センサ、赤外線式温度センサー、カラーセンサおよび寸法測定機器やシステムの種類は世界最大です。
![白色光干渉計<br>IMS5400-DS [非接触、高精度]](/dcms_media/image/interfero54ds_gaiyo.jpg)
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