MEMS傾斜角計と加速度計は、さまざまな産業用途に対応する低コストで高精度の慣性センサです。
それは結構ですが、とにかくMEMSセンサとは何でしょうか？
MEMSセンサはどのような役割を果たせますか？
どのような利点がありますか？ここではその疑問に答えようと思います。
まず、その小さなセンサの内部で何が起こっているのでしょうか？
微少電気機械システムとして知られるチップベースの技術であり、一対のキャパシタプレート間にある吊り下げられた物体で構成されています。
センサに傾きを加えると吊り下げられた物体によって電位差が生じ、それが静電容量の変化として測定されます。
次にその信号が回路によって増幅されて、デジタル、電流の4-20mA、または電圧のVDCで安定した信号が生成されます。
これらのセンサはオートメーション産業、プラットフォームのレベリング、位置制御、ピッチロール測定など、最高の精度を必要としないアプリケーションに最適なソリューションです。
それらは低コストであるため、他の大きなプロジェクトのコストを節約できます。
MEMS傾斜角計で得られる最高の分解能は0.0001°です。（JDIシリーズ）
そしてMEMSには独自の利点がいくつかあります。
MEMSセンサはアナログ電圧、電流、デジタル出力オプションなど、他のセンサラインで利用できる
便利な機能を提供しています。MEMSは非常にコンパクトなマイクロマシンコンポーネントを利用しているため、
センサが手のひらに収まるぐらいのサイズであり、スペースの制約を気にする必要がなくなります。
それらはIP67を備えており、動作温度範囲が－40℃～＋85℃のため、いくつかの厳しい条件で耐えることが出来ます。
Jewell Instruments 社によるオリジナル記事です。 許可を得て日本語に翻訳しました。
元のソース：http://www.jewellinstruments.com/how-does-a-mems-sensor-work/
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・Jewell Instruments社 MEMS斜角計
https://www.sankyointernational.co.jp/products/sensor/tilt_snsr/mems
・Jewell Instruments社 MEMS加速度計
https://www.sankyointernational.co.jp/products/sensor/acceleration_snsr/memsr
