
Micro-Epsilon社より、バッテリーフィルムなどの導電性フィルムの厚みを測定できる製品がリリースされました。
TFG6220には真空装置が内蔵されており、測定対象物を吸引して平滑化することにより、
測定対象のフィルムを、しわのない最適な状態にセットするため、高精度での測定が実現できます。
オフラインの品質検査で使用されており、装置は組み立て済みなので、すぐに使用可能です。
測定ブランケット上部に常設された静電容量式センサ(1)が測定対象物(2)までの距離を測定し、
測定インサート(3)が被測定物の真空吸引とクランプを行います。
下部領域(4)の静電容量式センサは測定インサート上で測定し、接触面の機械的オフセットを補正します。
分解能10nm、再現性1μm、測定可能フィルム厚<1mm、と高精度な厚み測定を一緒に実現しましょう。
製品ページ▼▼
https://www.sankyointernational.co.jp/products/capacitance_displacement_meter/item_169
動画(下記URLの下の方にあります)▼▼
https://www.micro-epsilon.jp/distance-sensors/capacitive-sensors/capancdt-tfg6220/